深微孔内径测量技术研究  被引量:3

Researches on Measurement Technology of Micro-and-deep Aperture

在线阅读下载全文

作  者:云鹏[1] 周彩红[1] 梁雅军[1] 刘柯[1] 王晓宁[1] 

机构地区:[1]北京航天计量测试技术研究所,北京100076

出  处:《宇航计测技术》2012年第4期6-9,共4页Journal of Astronautic Metrology and Measurement

摘  要:介绍了一种基于高准确度电感传感器和红宝石测头,在测长机上实现深微孔径测量的方法,解决了内径的Φ1mm~Φ5mm、深度在40mm以下的深微孔内径的测量问题。通过对深微孔径测量装置测量不确定度的分析,在95%置信概率下,装置的测量不确定度为0.6μm,满足测量要求。The micro-and-deep aperture measurement method on length measuring machine using high accuracy inductance transducer and ruby probe is introduced.This method can measure the micro-and-deep aperture range from Φ1mm toΦ5mm and below 40mm height.When the confidence probability is 95%,the measurement uncertainty of this device is 0.6μm.The analysis result can meet these demands of measurement.

关 键 词:深微孔径测量 电感传感器 红宝石测头 

分 类 号:TH741[机械工程—光学工程]

 

参考文献:

正在载入数据...

 

二级参考文献:

正在载入数据...

 

耦合文献:

正在载入数据...

 

引证文献:

正在载入数据...

 

二级引证文献:

正在载入数据...

 

同被引文献:

正在载入数据...

 

相关期刊文献:

正在载入数据...

相关的主题
相关的作者对象
相关的机构对象