薄膜铂热电阻特性分析  

Characteristics Analysis of Platinum Thin-Film Resistance Thermometers

作　　者：马毅[1] 张宏宇[1] 

机构地区：[1]92493部队89分队

出　　处：《计量与测试技术》2012年第8期7-8,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：薄膜铂电阻在温度测量领域应用广泛,使用数量巨大。在很多行业中,已取代了传统的线绕式铂电阻,但由于其原理未被充分掌握,以及特性未被深刻认识,在使用过程中,实际性能指标常常不理想,其高精度和高稳定性未得到充分发挥。为此对薄膜铂电阻工作原理、结构和加工工艺进行了介绍、针对不同于传统铂电阻的电阻温度变化规律、热响应时间和自热效应的特性进行分析,对在开展高精度温度测量应用时需注意的问题予以说明。

关 键 词：薄膜铂热电阻 热响应时间 自热效应 

分 类 号：TM54[电气工程—电器]