EDW ARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵  

机构地区：[1]隽科

出　　处：《塑料制造》2012年第9期60-60,共1页Plastics Manufacture

摘　　要：英国西萨塞克斯郡，克劳雷（2012年7月3日）全球领先的高精真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵，新设备经过优化，适用于LED％造中使用的MOCVD工艺，以及在栅堆叠（gatestack）中使用III—V材料的化合物半导体制造工艺。

关 键 词：半导体制造工艺 化合物 LED 真空泵 MOCVD工艺 尾气处理系统 服务供应商 真空设备 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]