Verigy 93000短期校准在变化率测试中的应用  

Application of Short-term Calibration of Verigy 93000 in Testing of Change Rate

作　　者：钟明琛[1] 刘彬[1] 

机构地区：[1]中国电子技术标准化研究院,北京100176

出　　处：《计测技术》2012年第4期45-47,共3页Metrology & Measurement Technology

基　　金：国家科技重大专项课题资助(2008ZX01035-002)

摘　　要：介绍了集成电路电参数变化率对短期校准的需求和Verigy 93000集成电路测试系统的校准方式,研究实现了Verigy 93000集成电路测试系统的短期校准装置,该装置可应用于直流参数变化率测试。This article describes the short-term calibration requirements of IC electrical parameters＇ change rate and the calibration methods of Verigy 93000 IC test system. We research and set up short-term calibration device of Verigy 93000, which is used for DC parameters＇ change rate.

关 键 词：VERIGY 93000 变化率 短期校准 直流参数 

分 类 号：TP391[自动化与计算机技术—计算机应用技术]