高科技制造业工艺设备的尾气处理  

作　　者：刘建勋 

机构地区：[1]上海华虹NEC电子有限公司 动力部

出　　处：《工厂动力》2011年第3期59-65,共7页

摘　　要：本文介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中，工艺设备尾气除害用的废气处理装置以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。

关 键 词：集成电路 洁净厂房(Cleanroom) 废气处理装置或尾气处理装置(Local Scrubber 简称:L/S)特殊气体预防性保养(PM:Preventive Maintenance) 报警(alarm) 

分 类 号：F124.3[经济管理—世界经济]