远程监控在集成电路芯片制造工厂中的应用  

作　　者：徐秉强 

机构地区：[1]上海华虹NEC电子有限公司动力部

出　　处：《工厂动力》2011年第3期71-76,共6页

摘　　要：本文主要介绍集成电路芯片制造工厂包括具有高洁净度的大面积生产区和各种类型的公用动力系统的显着特点，应用全厂动力设施管理与控制的远程监控系统，实现对集成电路芯片制造工厂中的生产过程动力系统管理、用户管理、设备监控、数据显示和报警。

关 键 词：集成电路 动力设施管理与控制系统(FMCS) 远程监控 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]