磨粒辅助EDM与ECM复合加工技术  被引量:3

Abrasive Assisted EDM & ECM Compound Machining

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作  者:孙树峰[1,2] 计时鸣[1] 谭大鹏[1] 薛伟[2] 吴鑫[2] 

机构地区:[1]浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室,杭州310014 [2]温州大学机电工程学院,温州325035

出  处:《机械工程学报》2012年第17期159-164,共6页Journal of Mechanical Engineering

基  金:国家自然科学基金(50875242);浙江省自然科学基金(Y1110027);浙江省教育厅重点(Z201120727);浙江省科技计划(2009C31016);浙江省新苗人才(2010R424033)资助项目

摘  要:微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)的快速发展与产品微型化的发展趋势对微细结构表面(包括微孔、微槽和微棱柱/锥等)的加工质量提出了更高的要求,为了提高微细结构表面的加工质量,提出一种磨粒辅助放电加工(Electrodischarge machining,EDM)与电化学加工(Electro chemical machining,ECM)复合加工新方法,通过建立微加工模型分析了该方法的加工机理,搭建了微加工试验平台,并进行了工艺参数优化研究,采用直径500μm和75μm的钨电极在SUS 304不锈钢上分别进行了微盲孔和微通孔加工试验研究,结果表明,在所用的EDM、EDM与ECM复合加工和磨粒辅助EDM与ECM复合加工三种方法中,磨粒辅助EDM与ECM复合加工方法获得的表面粗糙度(Ra15 nm)最高,因此该方法是微细结构表面高效和高质量加工的最佳方法之一。The rapid development of micro electromechanical systems(MEMS) and the miniaturization trend of products require much higher machining quality for micro structural surfaces such as micro hole,micro groove and micro prism/pyramid and so on.In order to improve the machining quality of micro structural surfaces,a new method of abrasive assisted electro discharge machining(EDM)and electro chemical machining(ECM) compound machining is provided.The machining mechanism is analyzed by its micro machining model.Micro machining equipment is set up.Process parameters are optimized.Blind and through holes are drilled on SUS 304 stainless steel using tungsten electrodes whose diameters are 500 μm and 75 μm separately.The results indicate that abrasive assisted EDM ECM compound machining obtains the highest surface roughness(Ra15 nm) among the three methods of EDM,EDM ECM compound machining and abrasive assisted EDM ECM compound machining.Therefore,this is one of the best methods which can be used to machining micro structural surfaces with high efficiency and high quality.

关 键 词:放电加工 电化学加工 结构化表面 

分 类 号:TH161[机械工程—机械制造及自动化]

 

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