阵列光波导器件对准耦合的工艺要求  

作　　者：王麓雅[1] 杨林[1] 阳波[1] 

机构地区：[1]湖南师范大学计算机部

出　　处：《电子世界》2012年第19期87-88,共2页Electronics World

基　　金：湖南省教育厅课题11C0814资助

摘　　要：精确对准耦合是阵列波导器件封装制造的关键技术,本文通过对光波导单模耦合模型的分析,研究了界面反射和几何对准偏差对模场耦合损耗的影响规律,提出了阵列波导器件对准耦合的工艺要求。

关 键 词：阵列波导器件 集成光子器件 耦合损耗 几何对准偏差 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]