基于交流调制的光栅干涉条纹信号的细分技术及实现  

A subdividing technique and implementation for grating interference fringe signal based on AC modulation

作　　者：储玉芬[1] 

机构地区：[1]闽西职业技术学院电气工程系,龙岩364021

出　　处：《制造业自动化》2012年第20期14-17,共4页Manufacturing Automation

摘　　要：本文以大行程、高精度衍射光栅位移测量系统为研究对象,提出了一种硬件计数与软件细分相结合的干涉条纹信号处理方法。运用交流调制技术对光栅信号进行处理,提高测量系统抗环境噪声和抗直流偏移能力。使用FPGA对光栅信号进行硬件四细分,在此基础上对信号的交流部分进行滤波、检波处理后用于上位机软件细分,并对该方法引入的误差进行了分析和补偿。最后应用双频干涉测量系统进行了比对实验,其结果表明该方法能实现±0.30μm的精度。

关 键 词：交流调制 干涉条纹 硬件细分 软件细分 补偿 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]