AFM线宽测量不确定度的分析与评定  

Analysis and Evaluation of AFM Uncertainty in Linewidth Measurement

作　　者：韩国强[1,2,3] 陈玉琴[1] 

机构地区：[1]福州大学机械工程及自动化学院,福建福州350108 [2]西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安710049 [3]福州大学物理与信息工程学院,福建福州350108

出　　处：《计量学报》2012年第6期486-489,共4页Acta Metrologica Sinica

基　　金：国家自然科学基金（90923001）;福建省教育厅项目（JA11031）;福州大学人才基金（022319）

摘　　要：详细分析了P47型原子力显微镜线宽测量不确定度的来源，给出了基于几何形状的线宽测量模型，提出了线宽测量不确定度的评定路线和方法。确定了探针针尖引起的测量不确定度是AFM线宽测量不确定度的主要来源，并对其进行了定量分析。普通Si3N4探针针尖引起的不确定度分量约占线宽总量的5％。The sources of linewidth measurement uncertainty of AFM type P47 are analyzed in details. A new model based on geometry shape of linewidth measurement is proposed. An uncertainty evaluation method is offered according to systematic analysis results in linewidth measurement. The measurement uncertainty component caused by traditional Si3N4 AFM tip is about 5% of the total linewidth. Finally,the main measurement uncertainty source- AFM tip is determined.

关 键 词：计量学 原子力显微镜 线宽 测量不确定度 

分 类 号：TB92[一般工业技术—计量学]