微小间隙静电放电中两种放电模式的影响研究  

Effect analysis of two discharge modes on parameters in micro-gap electrostatic discharge

作　　者：阮方鸣[1] 董墨[2] 吴亮[1] 王义[1] 周峰[3] 石丹[3] 高攸纲[3] 

机构地区：[1]贵州师范大学电子信息系,贵州贵阳550001 [2]中国电子科技集团第三十研究所,四川成都610041 [3]北京邮电大学电子工程学院,北京100876

出　　处：《电波科学学报》2012年第5期1030-1034,1042,共6页Chinese Journal of Radio Science

基　　金：国家自然科学基金(No.60971078);贵州省自然科学技术基金(No.J[2011]2028);贵州省国际科技合作项目(No.:G[2012]7019);贵州师范大学博士科研基金;贵阳市科技局工业振兴科技计划(筑科合[2011101]号);贵阳市科技局科技创新平台计划(筑科合[2012303]号)

摘　　要：设计实验讨论了被普遍认为是空气放电的带电体与受电体有相对运动速度的静电放电的参数变化性质。由于电极最终要碰触到放电靶上,所以,同时考虑接触放电模式的影响。在不同放电间隙情况下用静电放电发生器进行了实验,证实真实静电放电过程中存在两种放电模式。实验测量了在不同放电间隙状态下用静电放电发生器向靶运动放电的参数,分析了空气放电和接触放电对整个放电过程的作用影响。结果表明:有电极移动速度的静电放电应认为是接触放电与空气放电共同作用的综合放电过程。There exist two discharge modes in real electrostatic discharge（ESD） events and in experiment with ESD generator. ESD with electrode moving velocity were regarded as air discharge in many previous literatures. Contact mode electrostatic discharge is an important factor in ESD events with electrode moving to the target and need to be considered because electrode finally collides with the target. Discharge results were measured in ESD experiment with ESD generator, and analysis is given for impact of two modes of air discharge and contact discharge on the whole ESDprocess. Mutual action of two modes of air discharge and contact dis

关 键 词：模式 静电放电 移动速度 

分 类 号：O441.4[理学—电磁学]