制备有机聚合物脊型光波导的新方法  

New Method for Fabricating Organic Polymer Ridge Waveguides

作　　者：单吉祥[1] 应再生[1] 沈启舜[1] 曹庄琪[1] 

机构地区：[1]上海交通大学应用物理系区域光纤通讯网及新型光通信系统国家重点实验室,上海200030

出　　处：《微细加工技术》2000年第2期50-54,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：详细讨论了DR1 /PMMA聚合物波导在紫外光照射下 ,各个模式的有效折射率 ,薄膜厚度 ,以及紫外可见吸收谱的变化情况。并在此基础上 ,提出了以金属掩模 ,利用光漂白技术制备聚酰亚胺脊型光波导的新方法。The variations of the effective refraction index,film thinkness and UV?visible light absorption spectrum of DR1/PMMA polymer waveguides exposured under UV are discussed in detail.On this basis a new method for fabricating polyimide ridge waveguides by photobleaching technique and using metal mask is proposed.

关 键 词：光漂白 有效折射率 有机聚合物 脊型光波导 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学] TN814.6