Modification of LiTaO3 Crystal by Low-energy He-ion Implantation  

作　　者：Pang Lilong Wang Zhiguang Jin Yunfan Sun Jianrong Yao Cunfeng Cui Minghuan Wei Kongfang Shen Tielong Sheng Yanbin Zhu Yabin Li Yuanfei Wang Ji Zhu Huiping 

出　　处：《IMP & HIRFL Annual Report》2011年第1期84-85,共2页中国科学院近代物理研究所和兰州重离子研究装置年报（英文版）

关 键 词：氦离子注入 钽酸锂晶体 修改 低能量 表面形貌 间隙原子 离子植入 固体 

分 类 号：O738[理学—晶体学] TN304.12[电子电信—物理电子学]