飞秒激光微通道加工研究进展  

Advances in Femtosecond Laser Fabrication of Microchannels

作　　者：蔡海龙[1,2] 闫雪亮[2] 王素梅[2] 夏博[2] 刘鹏军[2] 姜澜[2] 

机构地区：[1]美国密苏里科技大学机械与航天工程系,罗拉密苏里美国65409 [2]北京理工大学先进加工技术国防重点学科实验室,北京100081

出　　处：《北京理工大学学报》2012年第10期991-1003,共13页Transactions of Beijing Institute of Technology

基　　金：国家"九七三"计划项目(2011CB013000);国家自然科学基金资助项目(90923039;51025521)

摘　　要：综述了基于飞秒激光微通道制造的研究现状,包括加工机理、工艺技术方面的研究进展,重点介绍了飞秒激光改性辅助化学刻蚀和液体辅助飞秒激光烧蚀两大主要制造方法上的研究成果,概述了目前面临的主要问题与挑战,展望了未来的发展趋势.Major progresses in mechanism investigations and methodology developments in femtosecond laser fabrication of microehannels are reviewed, especially for femtoseeond laser irradiation followed by chemical etching and liquid assisted femtosecond laser drilling. In addition, key challenges and possible future research trends are briefly discussed.

关 键 词：微通道 飞秒激光 改性 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学]