微纳米测量机工作台的结构及性能分析  

The Structure and Performance Analysis of Macro-nano CMM Stage

作　　者：陈贺[1] 陈晓怀[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥230009

出　　处：《组合机床与自动化加工技术》2012年第11期32-34,共3页Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique

基　　金：863计划重点项目(2008AA042409)

摘　　要：对微纳米测量机新型工作台进行了结构及静、动态性能分析。比较了不同结构的X、Y工作台的静态变形和刚度;对三维工作台进行了模态和谐响应分析,得到振动频率和振动位移。分析表明:合理的结构设计能够减小工作台的变形量,增加工作台的稳定性;工作台受驱动不会产生共振,动态性能满足要求。Analysis the structure static and dynamic performance of a new macro-nano CMM stage. Compare static deformation and stiffness of different structure of X and Y stage; obtained vibration frequency and displacement by the modal and harmonic analysis on the 3D stage. The analysis shows that reasonable structure design can reduce deformation of the workbench, and can increase the stability of the workbench; the stage can not produce resonance, the dynamic performance meet the requirements.

关 键 词：微纳米测量机 三维工作台 性能分析 结构变形 

分 类 号：TH121[机械工程—机械设计及理论]