激光法合成Si_3N_4超细粉的机理和工艺研究  

Study of The Preparing Technique and Reaction Mechanism of Ultra-Micro Particles Laser Driven Synthesised Si_3N_4 in Gas Phase

作　　者：曹茂盛[1] 姜春生[2] 段晓丹[2] 

机构地区：[1]齐齐哈尔轻工学院基础部 [2]哈尔滨工业大学

出　　处：《齐齐哈尔轻工业学院学报》1990年第3期42-46,共5页

摘　　要：本文介绍了激光驱动气相合成Si_3N_4超细粉的反应机理、工艺装置及工艺流程试验。对制得的Si_3N_4超细粉的形貌、成份等物性作了分析。Th paper offers the reaction process, technique equipment and experiments of laser driven synthesised Si3N4in gas phase. The physical properties of ultra-micro particle pcepared, such as shape constitution, are analysied.

关 键 词：激光法 合成机理 工艺 Si3N4超细粉 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]