MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析  

Dynamic Characteristic Analysis of MEMS High-Range Accelerometer

作　　者：潘龙丽[1] 石云波[1,2] 周智君[1] 尚晓亮 刘俊[1,2] 

机构地区：[1]中北大学电子测试国家重点实验室,太原030051 [2]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051 [3]北京宏思电子技术有限责任公司,北京100191

出　　处：《传感技术学报》2012年第10期1392-1394,共3页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国防基础科研项目基金项目(A3320110004)

摘　　要：利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射法优于FFT算法,其算法简单有效,能直接辨识出系统模型参数和模型阶次。The Hopkinson bar laser interference shock test-bench was used to calibrate the MEMS high-range piezoresisitve accelerometer in this paper.By two different methods,the transducer ＇ s frequency response was concluded and the logarithm amplitude frequency characteristics curve was plotted.The results show that the mirror mapping method is superior to the FFT for that it can identify model parameter and model order simultaneously.It ＇ s simple and useful.

关 键 词：MEMS(微电子机械系统) 高量程加速度计 动态特性 霍普金森杆 镜像映射法 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]