n型金属氧化物气敏元件的反应温变  

THE TEMPERATURE CHANGE DURING REACTION OF n-TYPE METAL OXIDE GAS SENSOR

作　　者：李宇兵[1] 刘晓健[2] 张宝才 李蕾[3] 刘文利[3] 

机构地区：[1]山东工业大学华天公司 [2]济南半导体研究所 [3]山东工业大学数理系,济南250061

出　　处：《山东工业大学学报》2000年第2期153-159,共7页

基　　金：山东省自然科学基金

摘　　要：提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置 ;给出了反应温变Δtrea随气体浓度 C变化的规律 ;给出了反应放热率 Prea与反应温变Δtrea的关系式 .讨论了表面反应速率方程 。WT5BZ] One method and the associated experimental device to study the temperature change Δ t rea in some gas sensor or material during sensing reaction are proposed. The formula of Δ t rea versus gas concentration and the relational expression of reaction exothermic rate P rea versus Δ t rea are given. The rate equation of surface reaction r and the surface reaction probability are discussed.

关 键 词：气敏元件 反应速度 金属氧化物 

分 类 号：TN379[电子电信—物理电子学]