薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究  

Study on Thin Films of Pd/Cr Alloys Hydrogen Sensor

作　　者：肖友文[1] 景涛[1] 谢贵久[1] 张建国[1] 王玉明[1] 章良 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111 [2]空军驻湖南军代室,湖南长沙410100

出　　处：《仪表技术与传感器》2012年第11期7-9,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器。测试了传感器对0～4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0～4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性。This paper presented a hydrogen sensor using Pd/Cr sensing material,and the hydrogen sensor was prepared by MEMS technology.The testing results indicate than this hydrogen sensor can realize concentration form 0 to 4% hydrogen detection,this sensor has linear-output characteristic,and it has better response characteristic and higher recoveries.

关 键 词：薄膜 钯铬 氢气传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]