全机械扫描,保障高均匀性—伊顿大束流离子注入机精华  

作　　者：楚歌 

出　　处：《LSI制造与测试》1991年第1期27-31,共5页

关 键 词：离子注入机 机械扫描 伊顿大束流 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]