非局部因子和表面效应对微纳米材料振动特性的影响  

Surface Effects of Adsorption-Induced Resonance Analysis of Micro/Nanobeams via Nonlocal Elasticity

作　　者：徐晓建[1] 邓子辰[1,2] 

机构地区：[1]西北工业大学工程力学系,西安710129 [2]大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁大连116024

出　　处：《应用数学和力学》2013年第1期10-17,共8页Applied Mathematics and Mechanics

基　　金：国家基础研究计划973基金资助项目(2011CB610300);111引智计划基金资助项目(B07050);国家自然科学基金资助项目(10972182;11172239;10902089);高校博士点基金资助项目(20106102110019);大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室开放基金资助项目(GZ0802);西北工业大学博士论文创新基金(CX201111)的资助

摘　　要：基于非局部理论和表面效应模型,导出表面吸附物对微纳米材料的动力学方程,研究非局部因子和表面能对微纳米传感器振动特性的影响.结果显示,非局部因子、表面能、吸附物种类、附加刚度和基底种类对微纳米结构的振动特性有重要影响.The governing differential equation of micro/nanobeams with atom/molecule adsorp- tion was derived in presence of surface effects using the nonlocal elasticity. The effects of non- local parameter, adsorption density and the surface parameter on resonant frequency of the mi- cro/nanobeams were investigated. It is found that, in addition to the nonlocal parameter and surface parameter, the bending rigidity and the adsorption-induced mass exhibit different be-haviors with the increase of adsorption density depending on the adatom category and the sub- strate material.

关 键 词：微纳米机电系统(MEMS NEMS)传感器 非局部理论 表面效应 振动特性 原子 分子吸附 

分 类 号：TB123[理学—工程力学] TB34[理学—力学]