三氯氢硅中硼、磷含量检验方法研究  

作　　者：宗凤云 李琰[2] 高炎 卢刚涛 安亚亚 

机构地区：[1]内蒙古神舟硅业有限责任公司 [2]内蒙古化工职业学院 [3]内蒙古乾坤金银精炼股份有限公司,内蒙古呼和浩特010000

出　　处：《内蒙古科技与经济》2012年第21期83-84,共2页Inner Mongolia Science Technology & Economy

摘　　要：建立三氯氢硅中硼、磷含量电感耦合等离子体发射光谱检验方法。该方法中硼的标准样品加入回收率为94.40%～100.80%;磷的标准样品加入回收率为91.20%～93.60%。

关 键 词：三氯氢硅 电感耦合等离子体发射光谱 硼 磷 检验方法 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]