角度调制型SPR传感器复合金属膜结构的设计  

Composite Metal Film′s Structure Design for Angle-Modulated SPR Sensor

作　　者：陈惠滨[1] 魏文才[2] 林少芬[2] 江小霞[2] 

机构地区：[1]集美大学信息工程学院,福建厦门361021 [2]集美大学轮机工程学院,福建厦门361021

出　　处：《华侨大学学报（自然科学版）》2013年第1期46-48,共3页Journal of Huaqiao University(Natural Science)

基　　金：福建省科技重大专项(2008HZ0002-1);集美大学博士科研启动项目(4411-C612005)

摘　　要：采用MATLAB数值模拟,分析Au,Ag两种材料对于角度调制型表面等离子共振(SPR)传感器性能的影响;同时,根据Au和Ag的各自特性,提出一种Ag/Au复合膜结构的设计,并对该复合膜结构的SPR传感器性能进行数值分析.研究结果表明:角度调制型SPR传感器的最低反射率受金属膜厚度的影响较大,在Au,Ag膜厚度分别为52,38nm时,其共振强度最强,最小反射率值达到最小值;选择Ag/Au复合膜总厚度为50nm(其中Ag膜厚度为20nm),可以大大改善传感器的性能,且由于Au膜处于复合膜的外层,可以保持传感器较好的稳定性.According to the MATLAB numerical simulation,the performance of surface plasmon resonance（SPR） sensor using Au and Ag film was analyzed.In view of the features of Au and Ag film,Ag＋Au composite film was proposed,and its performance in SPR sensor was numerically simulated.It could be concluded that the performance of the angle-modulated SPR sensor varied distinctly with the thickness of metal film.The sensor strongest resonated and the reflectivity was lowest with the optimal thickness of 52 nm Au film and 38 nm Ag film respectively.50 nm Ag/Au composite film（Ag film 20 nm） improved the performance of SPR sensor.Due to the outside Au film of composite film,the sensor could keep good stability.

关 键 词：表面等离子共振传感器 AU AG 复合金属膜 角度调制型 数值分析 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]