真空微电子技术  

作　　者：陈中洲 

机构地区：[1]锦州七七七厂高可靠产品研究所

出　　处：《半导体技术》1991年第1期57-59,共3页Semiconductor Technology

摘　　要：本文简要介绍真空微电子管的优越性及近两年来的水平,建议我们今后应做的几项工作。

关 键 词：真空 微电子技术 微电子管 

分 类 号：TN12[电子电信—物理电子学]