复旦大学在22纳米CMOS关键技术先导研发上取得突破性进展  

出　　处：《纳米科技》2012年第6期90-90,共1页

摘　　要：复旦大学微电子学系张卫教授课题组在22纳米CMOS关键技术先导的研发上取得突破性进展，提出了多种超浅结源漏和先进互连的新工艺。

关 键 词：CMOS 复旦大学 突破性 研发 技术 纳米 微电子学 课题组 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]