薄层方块电阻自动测量法  

The Automatic Measurement of Sheet Resistance

作　　者：张军琴[1] 顾瑛[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学微电子研究所

出　　处：《电子测量技术》2000年第2期1-3,共3页Electronic Measurement Technology

摘　　要：文中给出了一种由配有IEEE-488接口的恒流源、电压表、开关矩阵和计算机组建自动测量系统的方法。利用该系统可以方便地测得薄层方块电阻。In this paper, a method is introduced to set up an automatic measurement system which is made of constant current source unit, voltage meter, switch matrix and computer with IEEE- 488 interface. The sheet resistance can be conveniently measured using this system.

关 键 词：薄层方块 IEEE-488接口 自动测量系统 电阻测量 

分 类 号：TM934.1[电气工程—电力电子与电力传动]