多弧离子镀TiN和(TiZrCr)N膜中宏观颗粒的SEM分析  

作　　者：李成明[1] 张勇[1] 曹尔妍 

机构地区：[1]中科院力学所材料工程中心,北京100080

出　　处：《电子显微学报》2000年第4期565-566,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：多弧离子镀 氮化钛膜 宏观颗粒 SEM 

分 类 号：TG174[金属学及工艺—金属表面处理]