基于ITO衬底的电润湿显示阵列的制备  

The fabrication of electrowetting display arrays based on ITO substrate

作　　者：周思远[1] 徐庆宇[2] 肖长诗[3,4] 王建波[1] 

机构地区：[1]武汉大学物理科学与技术学院电子显微镜中心和人工微结构教育部重点实验室,武汉430072 [2]东南大学物理系,南京211189 [3]武汉理工大学,武汉430070 [4]南京晶奥微光电技术有限公司,南京211100

出　　处：《制造业自动化》2013年第2期92-94,共3页Manufacturing Automation

摘　　要：本文介绍了以ITO玻璃为衬底,在其导电面上依次旋涂teflon和SU-8光刻胶,利用光刻制备出栅格,在栅格中灌油并进行水下封装,制备出在直流电压控制下能够重复操作的电润湿显示阵列。

关 键 词：电润湿 ITO显示阵列 teflon疏水层 

分 类 号：TH162[机械工程—机械制造及自动化]