CCD扫描法检测模具表面缺陷的研究  

Study for the detection surface defects of the model by scanning with planar CCD array

作　　者：刘兴占[1] 巩马理[1] 李伦[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系,北京100084

出　　处：《光学技术》2000年第4期337-338,共2页Optical Technique

摘　　要：介绍了用由面阵 CCD组成的单列阵扫描法测量大型显像管玻壳模具的表面裂纹和砂眼等缺陷。同时还介绍了用软件对图像进行拼接的方法 ,以及采用分维数理论对灰度值进行分割等数据处理技术 ,并获得了较好的实验结果。由实验结果表明 ,该方法的分辨率达到了 0 .0 5 mm。A measuring method of the surface defects for the large model of the monitor tube, by scanning with planar CCD array is presented. And the connective method for images of detection with the software and using the theory of subdivision for the gray value has the advantages of the experimental result. The resolution is 0.05mm.

关 键 词：CCD 扫描 表面缺陷 模具 检测 显像管 

分 类 号：TN141.3[电子电信—物理电子学]