全自动提拉单晶炉系统控制技术  

Study on the Control Technique of Full-Automatic Crystal Furnace

作　　者：李金[1] 何晔[1] 佘建军[1] 付昌禄[1] 宋晓佳[1] 母江东[1] 邓力[1] 何根华[1] 陈川贵[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第26研究所,重庆400060

出　　处：《压电与声光》2013年第1期140-143,共4页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：详细阐述了一种全新单晶炉自动控制系统,该系统采用工业控制计算机为数据控制核心,上称重控制传感器进行晶体数据采集,利用感应加热或电阻加热方式控制单晶炉温场。通过对单晶炉控制系统特性研究和热场模型的正确推导,有效解决了系统温场及晶体结晶过程中引发的大滞后及系统非线性控制问题。试验结果表明,该系统控制稳定可靠,各项性能指标均达到国际先进水平。The control principle of the full-automatic crystal furnace for Czochralski method has been introduced. The crystal furnace system uses the weighing feedback control technique. By setting various parameters and using the industrial computer as the control core, the full-automatic crystal furnace can shield the external disturbance ef- fectively and realize the crystal externality control with high accuracy.

关 键 词：晶体生长 单晶炉 上称重 

分 类 号：TM22[一般工业技术—材料科学与工程] TN804[电气工程—电工理论与新技术]