OEM硅压力传感器温度补偿技术研究  

Study on Temperature Compensation Technique of OEM Si-Pressure Sensor

作　　者：彭春文[1] 朱红杰[1] 付世平[1] 刘宏伟[1] 徐淑霞[1] 

机构地区：[1]沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳市110043

出　　处：《仪表技术与传感器》2000年第7期9-11,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：OEM硅压力传感器除具有普通扩散硅压力传感器的灵敏度高、稳定性好等优点外 ,还具有体积小、价格低廉 ,易于批量生产等特点 ,成为市场的主导产品。文中对多种OEM硅压力传感器的温度特性曲线及其补偿电路进行测试、比较、分析 ,对传感器温度曲线可补偿性进行研究 ,实现了低温度系数厚膜网络温度补偿。OEM silicon pressure sensor has become the dominant product in industry because of its aduantages such as excellent sensitivity and stability,small size,low cost and ease of mass production.In this paper,the temperature property of OEM silicon pressure sensor and its compensation circuit is discussed and analysed,and a method of temperature compeasation is presented.

关 键 词：硅压力传感器 温度补偿 温度漂移 

分 类 号：TH823.2[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]