高效钯膜氢气纯化器及其应用  

作　　者：徐恒泳[1] 

机构地区：[1]中国科学院大连化学物理研究所

出　　处：《工厂动力》2010年第3期44-45,共2页

摘　　要：众所周知，半导体和电子等行业使用的超高纯氢气（99．99999％），主要是采用金属钯管纯化制备的。由于贵金属钯管的厚度至少在100～200微米，不仅消耗大量的贵金属钯，而且具有很低的透氢量，因此，其应用领域受到很大限制。通过在多孔支撑体表面形成一层更薄的钯层，可以制备金属钯复合膜。

关 键 词：高纯氢气 纯化器 应用 钯膜 多孔支撑体 金属钯 钯复合膜 半导体 

分 类 号：TQ116.2[化学工程—无机化工]