基于蒙特卡罗方法的平面度测量不确定度评定  

作　　者：李高峰[1] 陈晓怀[1] 王宏涛[1] 李红莉[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥230009

出　　处：《计量技术》2013年第3期3-6,共4页Measurement Technique

基　　金：国家自然科学基金（编号：50675057）资助项目

摘　　要：介绍利用蒙特卡罗方法进行平面度测量的不确定度评定。首先，根据最小二乘法得到平面度的误差模型，再采用蒙特卡罗仿真方法对测量值进行模拟仿真，从而得到平面度误差的不确定度，然后将评定结果与传统评定方法的结果进行比较。结果表明该方法简便易行。

关 键 词：蒙特卡罗方法 平面度 不确定度 最小二乘法 

分 类 号：TP301.6[自动化与计算机技术—计算机系统结构]