精密气动液压伺服系统用于傅里叶变换光谱仪光谱测量  

Spectral Measuring of Fourier Transform Spectrometer Using Pneumatic Hydraulic Servo System

作　　者：李志刚[1] 王淑荣[1] 王权陡[1] 李福田[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所

出　　处：《光谱学与光谱分析》2000年第4期589-591,共3页Spectroscopy and Spectral Analysis

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：讨论了傅里叶变换光谱仪动镜稳定平移的重要性 ,研制了以高压无氧氮气为动力源的精密气动液压系统用于推进在研傅里叶变换光谱仪“猫眼”动镜系统 ,并在此基础之上测量了ZYGO干涉仪光源光谱图。The importance of driving mirror smoothly used in Fourier transform spectrometer (FTS) is discussed.We have designed and used high precision pneumatic hydraulic servo system to move “cat eyes” optical system in FTS.The light source spectrum of ZYGO interferometer is measured by use of this system.

关 键 词：傅里叶变换光谱仪 液压系统 光谱图 光谱测量 

分 类 号：TH744.1[机械工程—光学工程] O657.33[机械工程—仪器科学与技术]