多弧离子镀铝靶金相分析和研究  

Analysis and Study on Optical Microscope of Multi-arc Ion Plating Aluminum Target

作　　者：罗松[1] 魏晓伟[1] 郑丽[1] 任光豪 

机构地区：[1]西华大学材料科学与工程学院,四川成都610039 [2]贵州航天新力铸锻有限公司,贵州遵义563000

出　　处：《铝加工》2013年第1期52-55,共4页Aluminium Fabrication

摘　　要：采用简便易行的蚀坑法辨别废旧镀膜铝靶的表面织构组分;选用适合浸蚀剂显示铝靶试样的宏观组织;使用电解抛光的方法制备金相试样,观察铝靶试样显微组织。由此推断铝靶在服役期间内部结构发生的变化。结果表明,铝靶在服役中,经历多次再结晶过程。铝靶表面织构组分和一般纯铝再结晶织构组分不太一致。The texture type of aluminum target was identified by pit etching, and metallographlc samples were prepared by electrolytic polishing method. The results of microstructure observation show that the aluminum target will be subjected to many recrystallization processes during the period of service. The texture component of aluminum target surface is not consistent with the recrystallization texture component of pure aluminum.

关 键 词：铝靶 织构 再结晶 电解抛光 蚀坑法 

分 类 号：TG174.4[金属学及工艺—金属表面处理]