非晶态碳膜及其应用  

作　　者：钱苗根[1] 

机构地区：[1]上海交通大学

出　　处：《材料科学与工程》1991年第1期15-19,共5页Materials Science and Engineering

摘　　要：非晶态碳膜具有许多接近于金刚石的、令人感兴趣的性能。它是近年来引人注目的一种新材料。本文报道了非晶态碳膜的制备方法、形成条件、生长动力学、结构、性能和应用等方面的若干进展。

关 键 词：非晶态 碳膜 薄膜技术 

分 类 号：TB43[一般工业技术]