基于高阻硅衬底的超导共面波导谐振腔及其动态电感分析  

SUPERCONDUCTING COPLANAR WAVEGUIDE RESONATOR AND ITSKINETIC INDUCTANCE ONTHE HIGH RESISTIVITY SILICON SUBSTRATE

作　　者：康壮[1] 杜之璨[1] 孙国柱[1] 曹春海[1] 房玉荣[1] 顾敏[1] 翟计全[1] 吴培亨[1] 

机构地区：[1]南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所,南京210093

出　　处：《低温物理学报》2013年第2期109-112,共4页Low Temperature Physical Letters

基　　金：国家自然科学基金面上项目(批准号:11074114);江苏省杰出青年基金(批准号:BK2012013);中央高校基本科研业务费专项资金资助的课题~~

摘　　要：本文详细介绍了在微波频段,高阻硅衬底上的超导共面波导谐振腔的研究,包括设计方法、制备流程、实验测量和数据分析,并且对NbN和Nb两种材料进行了实验对比.由于超导体中动态电感的存在,我们还对两种超导材料在不同厚度的情况下进行了测量,并且与理论计算结果进行了比较.A Superconducting coplanar waveguide （SCPW） resonator on the high resistivity silicon which works at the microwave frequency is presented. We introduce the design, fabrication, substrate t and data analysis. SCPW resonators with the material of NbN and Nb are measured to be compared. Since theKinetic induct- ance has a great influence on the resonator, we fabricate SCPW resonators with different thickness. The experimen- tal results are compared with the theoretical ones.

关 键 词：共面波导谐振腔 超导 动态电感 微波 

分 类 号：TN814[电子电信—信息与通信工程]