硅材料非球面光学零件加工工艺研究  

作　　者：徐放 肖建国 

机构地区：[1]云南北方驰宏光电有限公司,云南昆明650217

出　　处：《云光技术》2013年第1期33-37,共5页

摘　　要：数控磨抛工艺的成熟，弥补了硅材料非球面零件加工上的不足。文中对数控磨抛加工硅非球面光学元件的工艺进行了叙述。

关 键 词：硅非球面 数控铣磨 数控抛光 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]