双矩形型FeTaN薄膜电感器的制造  

作　　者：姜德清 

出　　处：《电子变压器技术》2000年第3期27-31,共5页

摘　　要：一种采用ＦｅＴａＮ薄膜的双矩形螺旋电感器业已制成。该电感器由磁性层作间隔的内部线圈组成。本文以磁性薄膜的平面化为重点探讨电感器功能的特性。薄膜没有平面化加工的情况下，覆盖在线圈阵上层的磁膜栅格拓扑结构降低了软磁性能和电感器功能。它也引起了与磁通方向容易地排列成轴线的单一磁向。这种排列保护着有助于总感应的上层磁膜。玻璃联结是获得完全的平面电感器结合的可行方法。用玻璃联结的平面电感器显示着良好的性能：

关 键 词：FeTaN薄膜 电感器 双矩形型 

分 类 号：TM55[电气工程—电器]