微机械元件和仪器的新进展  

New Progress of MEMS Component and Instru- ment Dalian University of Science and Technology

作　　者：邵培革[1] 王立鼎[1] 

机构地区：[1]大连理工大学机械系,116024

出　　处：《仪器仪表标准化与计量》2000年第5期19-22,共4页Instrument Standardization & Metrology

基　　金：国家 863计划;辽宁省博士起动基金;博士后基金

摘　　要：微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。MEMS component and Instrument; are suitable for batch manufacture and have the ad vantage of low price, high reliability, smaller volume and large - scale integration. In tills decade a great progress has been made in the re search, development and marketing of this fief(l. which suggests a bright future

关 键 词：微机械元件 微机械仪器 市场预测 微机械技术 

分 类 号：TH70[机械工程—仪器科学与技术]