分子泵机组控制系统的设计  

作　　者：吕凤年[1] 张臻[1] 尹宪华[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

出　　处：《数字技术与应用》2013年第3期11-11,共1页Digital Technology & Application

摘　　要：在高功率激光器系统中,使用空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,因此管道内必须达到一定的高真空,通过对选用的分子泵机组内部控制电路的研究分析,设计了一套控制方案,很好地满足了空间滤波器特定的使用要求。

关 键 词：无油分子泵组 空间滤波器 控制 

分 类 号：TB752[一般工业技术—真空技术]