MIM电容研究进展  

作　　者：张秋香[1] 

机构地区：[1]上海建桥学院机电学院电子工程系,上海201315

出　　处：《企业技术开发（中旬刊）》2013年第2期90-91,共2页

摘　　要：随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求。金属-绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件。文章介绍了对MIM电容的要求,制备MIM电容的主要方法,总结了MIM电容的研究现状以及待解决的问题。

关 键 词：MIM电容 ALD high-k材料 

分 类 号：TM53[电气工程—电器]