第十八讲 真空蒸发镀膜  

作　　者：张以忱[1] 

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2013年第3期87-88,共2页Vacuum

摘　　要：由于在T为10～10^3K范围内，蒸发热△Hv是温度的缓变函数，可近似地把△Hv看作常数。

关 键 词：真空蒸发镀膜 蒸发热 常数 缓变函数 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TB4[理学—物理]