浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计  

作　　者：朱冬林[1] 

机构地区：[1]信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司上海分院,200063

出　　处：《商品与质量（房地产研究）》2013年第1期181-182,共2页The Merchandise and Quality

摘　　要：随着集成电路工业迅猛发展，对于洁净室的生产环境提出了更高的要求，本文结合作者所设计工程项目的经验，论述了集成电路生产厂房洁净室的空调系统设计和机械排烟系统设计的几种不同方案形式。

关 键 词：集成电路 洁净室 空调 排烟 

分 类 号：TU83[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]