二元位相型光瞳滤波器的容错性能分析  

Fault Tolerant Analysis of Binary Phase Pupil filters

作　　者：刘为森 朱化凤 叶春伟 王秀民 李代林 王宁 云茂金[2] 曲淼 

机构地区：[1]中国石油大学(华东)理学院,青岛266555 [2]青岛大学物理学院,青岛266071 [3]潍坊中学,潍坊261041

出　　处：《青岛大学学报（自然科学版）》2013年第2期34-39,共6页Journal of Qingdao University(Natural Science Edition)

基　　金：中央高校基本科研业务费专项基金(批准号:111042563;14X02021A);山东省自然科学基金(批准号:ZR2012DL12)

摘　　要：对分区位相型大焦深超分辨光瞳滤波器的容错性能进行了分析研究。给不同区域以不同的位相误差,对焦点区域的光强分布特性进行了分析研究,研究结果表明,位相误差的大小对横向超分辨性能的影响比对焦深的影响要小的多。在10%以内的误差对焦平面上的光斑压缩比和斯特尔比的影响都非常小。3.7%的误差可以仍然维持较好的焦深扩展,但当误差进一步增大,焦深扩展的情况逐渐遭到破坏,不能再看作是良好的焦深扩展。The fault tolerant performance of zonal phase only superresolving pupil filters with high focal depth is analyzed. By giving different relative error to the zones, the intensity distribution in the focal volume is studied. Simulation results show that the value of relative error has less influence on radial super- resolution than focal depth. Relative error less than 10% has little influence on spot size and Strehl ratio, and that less than 3.7% can maintain a good focal depth extension. But with the increase of error, the high focal depth is spoiled, and there＇s no extension of focal depth in general.

关 键 词：光瞳滤波器 误差 超分辨 焦深 

分 类 号：O438[机械工程—光学工程]