TFT-基板玻璃生产线通道空调设备的研究构想  被引量:6

在线阅读下载全文

作  者:赵宇峰 

机构地区:[1]彩虹显示器件股份有限公司

出  处:《电子世界》2013年第12期191-192,共2页Electronics World

摘  要:随着对通道工艺认识的进一步深入,通道空调设备已经不再是以前认为的外围辅助设备了,现已上升到了工艺设备的层面,归到关键设备范畴。通道空调设备对稳定工艺环境、提升产品品位具有重要意义。文中综述了TFT-基板玻璃生产线通道空调设备使用现状及存在问题,提出了一种新的空气处理设备,并从设备结构、组成、控制原理及优缺点等方面详细介绍了该设备的研究构想。

关 键 词:TFT-基板玻璃生产线 研究构想 通道空调设备 箱式粗中效一体过滤器 无缝切换 油嘴外引 

分 类 号:TQ171.6[化学工程—玻璃工业]

 

参考文献:

正在载入数据...

 

二级参考文献:

正在载入数据...

 

耦合文献:

正在载入数据...

 

引证文献:

正在载入数据...

 

二级引证文献:

正在载入数据...

 

同被引文献:

正在载入数据...

 

相关期刊文献:

正在载入数据...

相关的主题
相关的作者对象
相关的机构对象