中科院固体所成功研制高性能电阻型薄膜气敏器件  

出　　处：《新材料产业》2013年第6期91-91,共1页Advanced Materials Industry

摘　　要：据报道，近期，中国化学院固体物理研究所（简称“中科院固体所”）所与中科院上海微系统研究所的相关课题组合作，提出将微／纳结构有序多孔薄膜与基于微电子机械加工（MEMS）技术的微型基板相结合的思路，成功地实现了高性能电阻型薄膜气敏器件。这种新型器件响应速度快、功耗小、结构稳定、制作重复性好，并且显示出了大批量规模化生产的潜力，具有实用推广价值。

关 键 词：气敏器件 多孔薄膜 中科院 电阻型 固体 性能 微电子机械加工 物理研究所 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理]