“三明治”MEMS加速度计的设计与分析  

作　　者：王鹏[1] 徐栋[1] 何凯旋[1] 王文婧[1] 陈博[1] 陈璞[1] 黄斌[1] 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2013年第2期1-10,共10页

摘　　要：基于体硅微机械加工技术，设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构，在有效提高加速度计灵敏度的同时，减小了寄生电容的干扰，提高了加速度计的测量精度，并对悬臂梁的抗冲击性能做了仿真分析，保证了加速度计工作的可靠性。经仿真与理论计算分析表明，该加速度计在Z轴向的灵敏度为0．125pF／g，谐振频率为4．9kHz，量程为±50g，抗冲击性能可达15000g。

关 键 词：电容加速度计 “三明治”结构 抗冲击 灵敏度 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]