一种CMOS模拟开关电路的失效分析  

作　　者：焦贵忠[1] 陈计学[1] 卜令旗[1] 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2013年第2期40-44,共5页

摘　　要：以一种CMOS模拟开关电路的失效分析为案例，叙述了CMOS模拟开关电路失效分析过程。通过对失效电路的测试分析，查找出失效电路的故障点，再经EMMI试验验证测试分析的正确性。建立一种以“测试分析”为手段的模式。通过对故障点的分析判断及CMOS模拟开关电路制造工艺流程的梳理，对失效现象进行失效机理的研究，最终确定失效原因。

关 键 词：模拟开关 失效分析 测试分析 

分 类 号：TN702[电子电信—电路与系统]