真空技术及应用系列讲座 第十八讲 真空蒸发镀膜  

作　　者：张以忱[1] 

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2013年第4期86-88,共3页Vacuum

摘　　要：2．3．3膜材的蒸发速率在蒸发物固（或液）相与其气相共存体系中，在热平衡状态下，根据气体分子运动论，若气体压力为p，温度为r，则单位时间内碰撞单位蒸发面积的分子数为.

关 键 词：真空蒸发镀膜 真空技术 气体分子运动论 讲座 应用 单位时间 热平衡状态 共存体系 

分 类 号：O484[理学—固体物理]